آموزش تئوری و فناوری ساخت ادوات نیمه هادی

پیشرفت روزافزون قطعات الکترونیکی، وابسته به ساخت ادوات در ابعاد میکرو و نانو است. هر ساله ابعاد ترانزیستورهایی که بر روی یک تراشه ساخته می شوند، کاهش یافته و موجب افزایش تعداد این ترانزیستورها بر روی یک تراشه می شوند که این امر به نوبه خود باعث بهبود عملکرد می شود. ساخت ادوات در ابعاد میکرو و نانو باعث پیدایش علوم جدیدی مانند: میکروالکترومکانیک، مدارات مجتمع نوری، زیست حسگرها و… شده است و علاوه بر این، درس تئوری و فناوری ساخت ادوات نیمه هادی یکی از دروس مهم برای دانشجویان کارشناسی ارشد و دکتری رشته های الکترونیک، فیزیک و… محسوب می شود که در همین راستا و در این فرادرس به صورت کامل به آموزش این درس می پردازیم. هدف از این آموزش، آشنایی فراگیران با مقدمه ای بر ساخت ادوات نیمه هادی است. در این آموزش سعی شده است تمامی مفاهیم به صورت کامل آموزش داده شوند و لذا پس از گذراندن این آموزش، دانشجویان و دانش پژوهان به صورت کامل با فرایندهای ساخت ادوات نیمه هادی آشنا می شوند. درس تئوری و فناوری ساخت ادوات نیمه هادی یکی از دروس اصلی در کارشناسی ارشد و دکتری برای رشته های الکترونیک، فیزیک و… است. در همین راستا در این آموزش سعی شده است تمامی فرآیندهای ساخت ادوات نیمه هادی اعم از: لایه نشانی، اکسیداسیون، فوتولیتوگرافی، زدایش، نفوذ و کاشت یون به صورت کامل آموزش داده شود. در این آموزش در درس آخر با توجه به آموزه های درس های قبلی، فرایند ساخت ترانزیستور MOS کامل شرح داده می شود.